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CT-W废气处理设备系统描述 :此系统专门设计来有效地处理 HCl、HF、SiH2Cl2、SiCl4、NH3以及其他酸性以及碱性气体的排放,且同时 维持低运行成本。根据需要处理气体种类的不同,CT-W可使用酸性或碱性中和剂。水洗器配备高效的逆流喷 嘴,为高流量废气的应用提供高可靠性。CT-W提供了多达4个独立的进气口,该进气口可以连接至高达 3,000 slm废气总流量的大气压力或大气压力以下的反应腔。 其他的优势还包含:*的N2气体文丘里(正规)、水式文丘里(非正规)、机械式废气进口清洁装置、取 决于废气负荷量的纯水加药、以及加热进口(选配)。所有的这些特色都是为了确保低维护需求和低运行成 本(尤其是针对像AlCl3和NH4Cl这类往往过一段时间便会阻塞进口的气体)。
机械式废气进口清洁装置