北京华旭世纪HXMF02系列气体质量流量计/控制器，采用了毛细管热传感技术和热温差原理，即流动中的流体与热源之间热量交换关系，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。
HXMF02系列小流量热式质量流量产品，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。
在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。可有效地满足各种客户的不同工况需求，广泛应用于诸多工业和科研领域。

：：产品特色：：

● 快速响应
●
● 测量精确，出色的长期稳定性
● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用
● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI
● 可配专用显示表，显示瞬时流量
● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输
远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等

：：典型应用：：

· 光伏及晶体制备 · 真空行业及镀膜 · 泄漏检测· 炉窑及微反应装置
· 半导体行业 · 大学/研究所· 分析仪器 · 气体混合配比
· 计量及计价· 燃料电池 · 燃烧测试 · 其它气体测控场合

：：性能指标：：

介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体
介质种类：也可现场更改-需咨询我们
标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）
测控量程：从0～5sccm到0～30slm任选
量程比：50:1
精度：±1.5%满量程（>15L为2%） 高精选项：±1%满量程、±1%读数
重复性：±0.2%满量程
流量分辨率：0.1%满量程
响应时间：2S
阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门）
工作温度：5～45℃
工作湿度：0～RH（无冷凝）
工作压差范围：流量计 0.02MPa～3MPa
控制器 0.1～0.5MPa（>10SLM为0.1～0.3MPa）
耐压：3MPa，可选高压选项10MPa
输入输出信号：标准为0～5V
可选4～20mA、1～5V、Modbus、RS485
输入输出电气参数：输入阻抗＞100kΩ，输出电流＜3mA
供电电压：+15VDC@50mA -15VDC@200mA
电气接口：DB 15pin
泄漏率：≤1×10-9次方Pa·立方米 /S（He）
接液材质：316L SS
密封材料：根据气体种类由厂家选择或包括：PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等
管道接头：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8双卡套，3、6、8、10mm双卡套
外形尺寸：长×宽×高：127×30×100mm
产品重量：流量计0.72kg 控制器0.88kg

：：订购信息：：

· 流量计或控制器 · 气体种类 · 流量范围 · 工作温度
· 入口压力 · 出口压力 · 管道连接尺寸和类型
· 输入/输出信号 · 安装姿势 · 选项及其它特殊要求：请咨询我们