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低温等离子体是继固态、气态、液态三态后，列为物质的第四态：有正离子、负离子、电子和中性离子组成，因为体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。等离子体按粒子温度可分为平衡态（电子温度=离子温度）与非平衡态（电子温度>离子温度）两种。非平衡态等离子体电子温度可以达到上万度，离子及中性离子可低至室外温，即整个体系呈低温状态，故成为“低温等离子”，一般由气体放电产生。低温等离子是根据在生产中产生的大流量，低浓度有机废气的特点是的水平的降解技术，其核心是采用低温等离子体产生高能量电子，直接分解废气中的各类有害的有机因子，使其迅速形成小分子碎片，降解成CO2,HO2等，从而使废气、油烟达到满意的净化效果。
