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溅射薄膜压力传感器
PTG200溅射薄膜压力传感器其利用离子束溅射薄膜技术结合*的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。离子束溅射在电阻合金材料上,在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻,膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和紧固件, 可*在-40~125℃工作温度下稳定工作。
应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。
主要技术参数:
被测介质: 气体,液体及蒸气
压力类型: 表压、绝压
量程: 0 - 0.6~120 Mpa间任意可选
输出 :1.2~1.8 mv/V
综合精度: ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
非线性: 0.06~0.1%FS
迟滞: 0.02~0.05%FS
重复性: 0.03~0.06%FS
零点温漂: ±0.01%FS/℃
灵敏度温漂: ±0.02%FS/℃
供电: 5~15V DC
输出阻抗: 1.5~3KΩ
绝缘电阻: ≥1000 MΩ/100VDC
工作温度: -40~+85\125\150℃可选
过载能力: 150%FS
电气连接: 高温引出线
压力连接: M10×1双"O"圈密封或用户
接液材料 膜片:17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti
相对湿度: 0~95% RH
密封等级 :IP65