序号

产品名称

型号

单位

数量

1

分子泵

JTFB-1600

台

1

2

机械泵

TRP-36

台

1

3

复合真空计

PDF-5227

套

1

4

转接真空室

CF250—CF150

个

1

5

插板阀

CF150手动/电动一体

台

1

6

防返油阀

KF40压差放气阀

个

1

7

放气阀门

KF16电磁放气阀

个

1

8

波纹管

CF150*1500mm

根

1

9

波纹管

KF40*500mm

根

1

10

移动平台

/

套

1

序号

名称

型号

技术指标

1

分子泵组

DSC-1600L

真空获得为风冷复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400HZ后优于3*10^-3Pa，30分钟以内优于5*10^-4Pa，极限真空度3*10^-5Pa。

机组为可移动台式小车结构，能够满足不同位置排气需要。

分子泵：JTFB-1600，抽速1600L/s的国产风冷复合分子泵；

机械泵：TRP-36，抽速9L/s的合资机械泵；

复合真空计：PDF-5227，CF35电离规和KF16电阻规；

转接真空室：CF250—CF150，高度200mm；

插板阀：CF150手动/电动一体；

防返油阀：KF40压差隔断放气阀，电磁驱动；

放气阀门：KF16电磁放气阀；

气路结构：简单气路，无预抽；

波纹管：1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm

移动平台：带4面围板的小车，带控制系统。