主要技术规范

　　1、真空室内腔尺寸：宽×高×深：1950×1050×750(mm)

　　2、极限真空：1.3×10-4Pa(空载时)

　　3、抽气时间：从大气到9.7×10-4Pa≤50min

　　4、升压率：≤5Pa/h。

　　5、真空测量：双热偶电离复合真空计1台，热偶规2支，大气压-1Pa;电离规2支，10Pa-10-5Pa。

　　6、可镀卷材：幅宽：150mm，卷径：φ=400mm

　　7、卷绕速度：0.1-10mm/min

　　8、加热器：加热器高功率：IGBT电源，35KW(可根据用户要求配置)

　　数量：2个

　　加热区域：控温精度1℃，温度均匀性3℃

　　9、气氛控制：3台D07—7B/ZM型气体质量流量计，

　　10、真空系统：由脂润滑分子泵，前级机械泵，罗茨泵，电磁气动真空阀门，真空管道组成。

　　11、冷却水：循环冷却水机。

　　去离子水电导率：小于50μ S /cm

　　压力:0.1～0.25MPa, 流量：约10T/h，水温<25℃

　　16、总功率：三相四线，380V，50HZ，80KV。

　　17、电气控制系统一套，主要元器件均为施耐德品牌。

　　18、总控系统：PLC控制，互锁设定，触摸屏显示(可根据要求定制)。