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北京市所在地
主要特点:
l 支持气体、液体同时配气以及混合配气;
l 流量控制采用闭环模糊控制技术,响应速度快,流量控制准确;
l 零气压力和钢瓶气压力可实时监测,保证供气压力满足仪器要求;
l 大屏幕液晶屏幕、中文显示,操作简单方便;
l 多路标气输入接口,免除更换多种钢瓶气的繁琐工作;
l 可气体加湿;
监测参数:
流量准确度 | ±1%F.S |
流量线性度 | ±0.5%F.S |
流量重复精度 | ±0.2%F.S |
稀释气体流量范围 | 0~20SLM;0~10SCCM; 0~500SCCM 可根据需求选择 |
稀释比 | 200:1 |
配比 | 400:1 |
输入压力 | 100Kpa~500Kpa |
显示方式 | 800×480液晶7寸触摸屏 |
环境温度 | 5℃~+40℃ |
环境湿度 | <85%RH(无冷凝) |
设备耐压 | <1Mpa |
工作压差范围 | 0.05Mpa~0.3Mpa |
工作电源 | 220VAC, 50±0.5Hz |
气液混合动态配气系统 质量流量控制器
气液混合动态配气系统 质量流量控制器