等离子催化氧化是指有机废气经等离子激发、离解活化，然后活化的废气经高能射线照射在稀有金属氧化物表面，与废气中的氧气发生催化氧化反应，终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。等离子与催化氧化技术的结合解决了单一用等离子时能量利用率、处理效率低及应用条件高的缺陷。

等离子催化氧化设备工作原理：
*阶段：废气激发、离解活化
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体，利用高能粒子与气体分子 （原子）发生非弹性碰撞，将能量转换成基态分子 （原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程，使气体处于低温活化状态。
第二阶段：活化废气催化氧化分解
采用高能射线照射稀有金属氧化物，活化废气在金属氧化物表面发生催化氧化反应，利用废气中的氧气与废气反应生成水和二氧化碳，实现废气的净化。

等离子催化氧化设备适用范围：苯系物、酯类、恶臭物质等多种有机物
– 净化效率高：高达90%
– 电子能量高：单位体积处理效率高，占地面积小
– 运行费用低：仅消耗少量电能。

占地面积小：设备体积小，结构紧凑，安装工期短；
无二次污染：不产生副产物，催化剂可选择性地降解等离子反应中所产生的副产物。