一、是河南兴邦环保科技有限公司，联合多家大学及科研单位共同设计研发而成的一种专业处理硅烷废气的处理设备，效率高，处理*，安全可靠，处理结果全部达到国家环保排放要求。

二、目前，多晶硅生产过程中废气的主要处理方法有碱淋洗法和焚烧法，其中碱洗法根据使用的材料分为氢氧化钠处理法和氢氧化钙处理法。

下面将对进行简要描述：

1、碱洗法

碱洗法与水洗法相似，常用的碱液主要包括氢氧化钠和氢氧化钙溶液，碱液与废气中的氯硅烷和同样在几级串联的淋洗塔内或是密闭的反应釜内进行水解中和反应，产生硅酸钠、氯化钠、或是硅酸钙、氯化钙、少量二氧化硅和水，处理后的废气主要为氮气、氢气和水蒸气达标排放。

碱液淋洗后产生的废碱水经中和压滤后固渣外运填埋。

2、燃烧法

燃烧法的主要原理是在有氧和助燃材料的条件下，废气在燃烧炉内进行高温燃烧水解，从而将废气转化为含有二氧化硅、、少量氯气和水蒸气的高温烟气，通过对高温烟气的换热、拦截和降温吸收，以蒸汽的方式回收烟气中的热量，同时以副产物的形式回收烟气中的二氧化硅和盐酸，剩余烟气经淋洗后达标排放。

，李

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