应用背景及范围
随着工业产业的迅猛发展,在制造业生产过程中常产生各种废液。如液晶制造步骤或半导体制造步骤中产生混合有磷酸、醋酸及硝酸的混合酸废液,这些废液的随意排放不仅造成环境污染,水体污染,而且导致废液中的各种有机酸、无机酸被浪费。传统对废酸进行处理时,一般对其进行中和处理,之后直接排放至大自然中。
本装置适合于半导体制造过程中的混合废酸处理及相关领域的工业生产。
工艺原理
利用磷酸、醋酸及硝酸的沸点和挥发度相差较大,采用分馏方法将磷酸、醋酸及硝酸分离开,得到一定浓度的磷酸和醋酸、硝酸的混合酸。其中在醋酸、硝酸的混合酸在加入氢氧化钠,经合成浓缩结晶分离后,得到产品醋酸钠。
装置特点
结合混酸的腐蚀特性、生产的安全环保要求以及投资运行成本,本装置在具备以下特点:
1.本装置工艺成熟,*、合理,同时节能显著,无需化学试剂,无二次污染,采用分馏方法将混酸中需要的产品分开,进行资源的回收利用。尾气处理,通过二级吸收,使其尾气达标排放。
2.本装置处理能力大,结构紧凑,占地面积小,操作方便,工艺简单 环保、投资小。
3.在正常工况下,本装置能正常稳定运行。本装置运行时工人劳动强度低,可实现全自动智能运行;
4.低维护成本:整套装置主要是由动、静设备和管线、泵、仪表等组成,日常维护工作量小,维护成本很低。
5.运用灵活:本装置具有结构紧凑,灵活多变。可根据生产、市场等情况,生产得到不同的产品。