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C60-20S是一种高性能离子束，设计用于溅射表面，具有 小的损伤和减少的沿周溅射效应。 C60-20S在高达20 kV的电压下工作，可有效地溅射材 料，且损伤 小，无需重新沉积碳。 C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件，可在多种材料 上均匀溅射。
聚合物的高速、低化学损伤蚀刻。
C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍，同时 对底层材料造成的损害要小得多。 下图比较了15kev的C60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的 TRIM数据。在相反的例子中，用C60和单原子氩离子束溅 射清洗PTFE薄膜。 虽然两种离子束都去除了表面污染，但只有C60离子束的表 面化学性质没有发生变化。
