多相催化氧化VOCs处理装置采用‘羟基自由基’与紫外线光源联合作用对废气分子链进行净化的专业技术，运用低浓度‘羟基自由基’和100~300纳米波段光切割、断链、裂解废气分子链，改变分子结构，为*重处理；取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子或中子、原子与0₃进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO₂、H₂O等，为第二重处理；再根据不同的废气成分配置7种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状多孔物质作为载体，*与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下与尾气中‘羟基自由基’发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭zui高可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过国家1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93）。