废气治理工艺流程为首先废气进入水喷淋，在喷淋室中以1.8m/s左右的缓慢速度通过。喷淋室内喷淋液经过雾化器的雾化形成层层水膜，首先废气由喷淋塔进气口流入空气室，然后经过弟一层填料进行水洗，去除废气中的颗粒以及溶解部分溶于水的废气，然后进入第二层填料进行水洗，*去除废气中全部的颗粒和溶解部分溶于水的废气（防止粘结灯管，影响光氧设备净化效率和后续设备的维护成本）。然后经水喷淋上端的除雾器进行水份吸收。接着废气进入光氧催化设备或等离子设备

       进入光氧催化设备，利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。 UV＋O2→O- O＊(活性氧)O O2→O3(臭氧)，*臭氧对有机物具有*的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有*的清除效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能-C光束裂解工业废气中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，*达到净化及杀灭细菌的目的．