快速准确的双面扫描系统

测量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz

在x和y方向上移动300 mm（200 mm），横向分辨率为50 nm，电动z轴分辨率为20 nm

2D轮廓，3D地形图和3D厚度图

扫描范围大

x，y，z分辨率，行程为max.300 mm（200 mm）

零件厚度max.80 mm

彩色白光传感器

高分辨率离轴相机

CT 350T是一款非接触式双面光学轮廓仪，具有300毫米x，y扫描台。顶部和底部传感器安装在行程为100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能甚至可以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x，y编码器信号同步的高度数据，并轴向对齐以确保精确的差分厚度测量。该软件同时从顶部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图，并计算相应的总厚度轮廓或贴图。

运动系统使用快速，准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器，可以将检查时间更小化。通过在平台孔上安装转接板，该系统可以用作标准光学表面轮廓仪，使CT 350T成为功能广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有较小的版本，如CT 250T，具有200 mm的行程，非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能晶圆。