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面议用于激光故障注入的S-LMS显微镜站是集成电路安全评估的高精度平台。它允许将激光点聚焦在芯片上并通过背面扫描样品，以评估电子元件的安全级别。S-LMS显微镜允许注射、聚焦和扫描一个激光点至1米的点大小，同时用红外摄像机从背面观察样品。
980 和/或 1064 nm 的单模激光
脉冲亚纳秒到连续波
时间精度 <8 ps
频率高达 250 MHz
>92% 透射率
同轴红外视觉
可以由Python控制和驱动
光电发射选项
激光热刺激选项
esDynamic软件平台
单模光纤激光器
|
| PDM+/PDM+ HP | PDM4+ and PDM4+ HP |
| 脉冲持续时间 | 从1.5纳秒到连续波 | 从1.5纳秒到连续波 |
| 峰值功率 | 高达3.2瓦 | 高达10瓦 |
| 波长 | 980纳米；1064牛米 | 980纳米；1064牛米 |
| 重复率 | 从单发到250兆赫 | 从单发到250兆赫 |
| 命令接口 | TTL/LVTTL /软件& dlls | TTL/LVTTL /软件& dlls |
| 光束质量 | 单模 | 单模 |
InGaAs 红外相机
| Captor | 640x512 µm |
| 动态量程 | 140 dB |
| 接口 | USB(包含软件) |
电学
| 电压 | 220 V/110 V |
| 电流 | 16 A |
自动位置调节系统
| 轴数 | 3 |
| 行程范围 | 52 mm |
| 分辨率 | 0.315 µm |
| 重复性 | +/- 0.8 µm |
| 速度（max.） | 20 mm/s |
故障注入
光发射
热刺激