立式化学气相沉积炉(沉积炭)

立式化学气相沉积炉(沉积炭)

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具体成交价以合同协议为准
2022-03-24 11:21:23
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产品简介

立式化学气相沉积炉(沉积炭)用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理

详细介绍

立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数/型号VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
工作区尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
温度(℃)150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±5/±10±7.5/±10±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应

参数/型号VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3338-CVCVD-3344-C
工作区尺寸D×H(mm)Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×3800Φ3300×44000
温度(℃)15001500150015001500
温度均匀性(℃)±15±15±15±20±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

结构形式:卧式-单开门/门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)

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