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基本工艺流程：
1、碳纤维预制体——高温处理——压力浸渍——碳化——机械加工——石墨化——陶瓷化——后续加工
2、碳纤维预制体——高温处理——化学气相沉积——机械加工——石墨化——陶瓷化——后续加工
| 设备类型 | 化学气相沉积炉 | 真空石墨化炉 | ||||
| 参数/型号 | I/VCVD-0610-C | I/VCVD-1120-C | HCVD-121220-C | VIG-0610-C | VIG-1120-C | VIG-131320-C |
| 工作区尺寸W×H×L（mm） | φ600×1000 | φ1100×2000 | 1200×1200×2000 | φ600×1000 | φ1100×2000 | 1300×1300×2000 |
| 温度（℃） | 1200 | 1200 | 1200 | 2600 | 2600 | 2600 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±15 | ±15 | ±20 | ±15 |
| 极限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 加热方式 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻 | 感应 | 感应 | 电阻 |
| 设备类型 | 渗硅炉 | 真空碳化炉 | 真空压力浸渍炉 | ||||
| 参数/型号 | ISII-0610 | ISII-1120 | VSII-121220 | VVCI-0608 | VVCI-1120 | VPI-0608 | VPI-1120 |
| 工作区尺寸W×H×L（mm） | φ600×1000 | φ1100×2000 | 1200×1200×2000 | φ600×800 | φ1100×2000 | φ600×800 | φ1100×2000 |
| 温度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 1000 | 1000 | 400 | 400 |
| 温度均匀性（℃） | ±15 | ±20 | ±15 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 压力（Mpa） | / | / | / | / | / | 5 | 5 |
| 加热方式 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
结构形式：卧式-单开门/门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢/Q345
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡/金属
加热器材质：石墨/CFC/金属
马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
红外仪：单比色/双比色
电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
