液相渗硅炉
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电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
电阻炉采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术，能在高温条件下长时间稳定使用，也可采用感应加热方式；
可选配全密闭马弗室，密封效果好，抗污染能力强；
多级高效尾气处理系统，环境友好，易清理；
适于工艺气氛：真空/N2/Ar。
| 参数/型号 | VSII-060609 | VSII-101015 | VSII-121220 | VSII-151530 | ISII-0610 | ISII-1120 | ISII-1320 | ISII-1520 |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 600×1000 | 1100×2000 | 1300×2000 | 1500×2000 |
| 温度（℃） | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±15 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 极限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC
热电偶：C分度号
