碳化硅涂层炉
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采用*的控制技术，能精密控制MTS/MS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
适于工艺气氛：真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。
| 参数/型号 | HCVD-101015-SiC | HCVD-152023-SiC | VCVD-0608-SiC | VCVD-0612-SiC | VCVD-0812-SiC | VCVD-1120-SiC | VCVD-1218-SiC | VCVD-1520-SiC |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
| 温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC
热电偶：C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
