立式底装料真空退火炉
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炉体是立式、单室、底装料形式,也可按实际状况选择底炉门开出移动结构;
炉胆经炉胆经模块化优化设计,炉温均匀性好;
底部炉门升降传动结构依据现场使用状况可进行多重选择;
升降结构具备自动消除升降系统的累计误差功能,运行平稳的、无振动;
加热状态可选择真空气氛,包括Ar、H2。
参数/型号 | VVA-0608S | VVA-0808S | VVA-1010S | VVA-1212S | VVA-1215S | VVA-1515S | VVA-1520S |
有效热区 D×H(mm) | 600×800 | 800×800 | 1000×1000 | 1200×1200 | 1200×1500 | 1500×1500 | 1500×2000 |
装载重量(Kg) | 650 | 850 | 1000 | 1150 | 1300 | 1450 | 1800 |
加热功率(Kw) | 120 | 180 | 270 | 330 | 390 | 420 | 540 |
温度(℃) | 1150/1350/1700/2300 | 1150/1350/1700/2300 | 1150/1350/1700/2300 | 1150/1350/1700/2300 | 1150/1350/1700/2300 | 1150/1350/1700/2300 | 1150/1350/1700/2300 |
温度均匀性(℃) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
真空度(Pa) | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 |
4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | 4×10-3/6×10-4 | |
压升率(Pa/h) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | |
气冷压力(bar) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
底装料形式:升降炉门可横向移动、升降炉门横向固定
垂直升降:丝杠升降、螺母升降
炉胆:石墨加热元件与石墨毡复合屏合成结构、钼加热元件与全金属隔热屏合成结构
真空泵组和真空计:进口、高品质国产
真空度:高真空、中真空
PLC:西门子、欧姆龙、三菱
控温仪表:岛电、欧陆、霍尼韦尔
热电偶:K型分度号;N型分度号、S型分度号
记录仪:有纸记录仪、无纸记录仪
人机界面:模拟屏、计算机触摸屏
电器元件:高品质国产、施耐德、西门子