机械磨样、氩离子抛光、FIB（聚焦离子束技术）是常见的三种样品制样加工方式，每种样品制样加工方式各有优缺点，主要如下：

1.手工机械研磨样虽价格便宜可观察区域面积大，但由于其受到硬度、延展性等材料性能的影响，做出来的截面常常有变形、磨痕、脱落、褶皱、热损伤等特性，产生假象，严重影响分析准确度，对厚度测量，截面观察带来困难。

2.氩离子抛光制样是利用高压电场使氩气电离产生离子态，产生的氩离子在加速电压的作用下，高速轰击样品表面，对样品进行逐层剥蚀而达到抛光的效果。可进行截面制备与平面抛光，价格稍高，但样品表面光滑无损伤，加工精度高，界面清晰，镀层尺寸测量准确，还原材料内部的真实结构，用于制备EBSD、CL、EBIC或其它分析制样。

3.聚焦离子束技术（FIB）是利用电透镜将镓离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜实时观察，成为了纳米级分析、制造的主要方法。虽然价格昂贵、加工区域小，但避免了金属延展、碎屑填充、厚度偏差大的弊端。

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