废气处理设备

　　维护保养及注意事项

　　1.电源不正常

　　联系供电部门是不是已对RTO系统供电;检查相关电源开关及线路;注意保险丝是不是熔断。

　　2.变频器故障

　　①检查PLC与变频器及变频器与显示屏之间的通讯是不是正常，非常是通讯线是不是松动脱落。

　　②系统断电后，因风机的电机过电压爱护，变频器可能会出现故障指示。再次通电启动后，按变频器复位键即可。

　　③如风机自动停车，可对动力柜断电再通电重新启动。

　　④正常停炉后，再次启动RTO设备也可能出现这种情况，按变频器复位键即可。

　　⑤如风机电机故障，则可能造成电机过电流，变频器故障报警。

　　3.风机风压低报警

　　①若变频器正常，则检查电机(是不是运转，有无异响)、轴承及电路(电机有无正常上电)。

　　②若变频器显示故障信号，经复位后仍不可以恢复正常，则需专业技术人员检查维修。

　　③察看风机转动情况，如转动未见异常，则更换压差开关。

　　4.当故障提示“压缩空气压力低”

　　①确认压缩空气主管道上手动阀有无开启。

　　②确认供气系统是不是正常。如是则检查压力开关参数设定是不是正确4bar或是不是损坏;如否则联系检查空压机与干燥机是不是正常工作。

　　③检查压缩空气管路有无泄漏。如正常，则检查压缩空气管路有无泄漏。

　　5.气动阀门动作异常

　　(1)如全部阀门均不动作，则可能的问题根源如下：

　　①检查压缩空气压力是不是在正常范围4～6kgf/cm2，压缩空气主管道上手动阀有无开启。

　　②PLC柜直流电源有无问题，保险丝是不是熔断。

　　(2)如单个阀门动作异常，则可能的问题根源如下：

　　①检查该阀门对应的压缩空气小管道上手动阀有无开启。

　　②检查该阀门对应的PLC柜中继有无问题。

　　③检查该阀门电磁阀是不是动作，首先检查电磁阀线圈有无通电;其次检查电磁阀内有杂物阻塞，通常解体清理后可继续使用。如气缸有问题，则需更换或由专业人员维修。

　　④察看现场阀位磁性开关定位器是不是到位，如阀门动作到位，磁性开关没有亮灯指示，此时要调整磁性开关位置，直到让其亮灯指示。

　　⑤还有一种可能是阀门密封面上沾有铁屑等杂物，致使阀门无法全部关闭，压缩空气一直从二位四通阀排气口冲出。平常这种情况通常会跟随杂物脱落而自动消逝，否则应打开就近的检查门，清除杂物。

　　案例：三室式RTO蓄热式焚烧设备安装在郑州化工厂区

　　6.点火不成功

　　打开燃烧操纵柜，按燃烧操纵器复位键，重新点火。如重复多次，燃烧器仍不可以点火，则按下列途径查找因素：

　　①察看燃烧操纵器各小灯的闭合，根据其提示，分析*因素。

　　②检查电机是不是正常。连杆是不是松动。燃气平衡阀是不是在适宜位置。

　　③检查点火电磁阀是不是故障。

　　④检查点火管路是不是开启，压力是不是正常(减压阀后压力1～2KPa左右)。

　　⑤主减压阀前压力及减压阀后压力是不是正常。若减压阀后压力不正常则调节减压阀或更换减压阀。

　　⑥擦拭点火器及火焰检测器头部后再试。

　　⑦检查高压点火器是不是打火。

　　⑧火焰检测器是不是故障。

　　⑨检查燃烧风机供风是不是正常。

　　⑩火检冷却风是不是过大，关小再试;火检冷却风是不是关闭，如关闭，可能造成火检端部温度超过65℃，火检自动爱护动作造成点火失败。若以上问题都不存在，但还不可以成功点火，则需专业人员对燃烧系统重新调整。

　　7.燃烧器蓦地熄火

　　打开燃烧操纵柜，按燃烧操纵器复位键，重新启动燃烧器。如重复多次，燃烧器仍不可以正常运动，则按下列途径查找因素：

　　①主减压阀前压力及减压阀后压力是不是正常。若减压阀后压力不正常则调节减压阀或更换减压阀。

　　②检查电机是不是正常。连杆是不是松动。燃气平衡阀是不是在适宜位置。

　　③检查助燃风机压力开关是不是动作。

　　④检查火检有无问题。

　　⑤炎热的天气限制器有无动作。

　　⑥火检冷却风是不是过大，造成小火时熄灭，关小点火再试;火检冷却风是不是关闭，如关闭，可能造成火检端部温度超过65℃，火检自动爱护动作造成点火失败。若以上问题都不存在，但重新点火成功后再次出现熄火现象，则需专业人员对燃烧系统重新调整。

　　8.排气超温上限(设定温度250℃)此时RTO报警并自动故障停车

　　可对比现场温度表，首先推断排气热电偶有无问题。如现场温度表显示未超温则更换热电偶，重新启动RTO。如现场温度表也显示超温，则按如下几种情况分析因素：

　　①废气入口温度是不是过高。RTO正常入口温度为常温。

　　②检查RTO系统主切换盖板阀有*。如阀门有故障，RTO蓄热体无法正常蓄热放热，也会造成RTO出口超温。

　　③检查蓄热体是不是完好，如蓄热体阻塞、碎裂或塌陷则造成换热效率减少，从而提高排烟温度。

　　④检查是不是全部生产线废气阀都关闭。如长时间关闭，进入RTO的废气量太小，会造成RTO出口超温。

　　9. 氧化室温度超高报警(设定温度950℃)：此时RTO自动故障停车

　　①热电偶有无问题。可根据两支热电偶及对比燃烧操纵柜显示的温度推断，正常情况下，任意两者的读数误差≤150℃。

　　②检查燃烧系统比例阀动作是不是正常。

　　③废气浓度过高，应检查生产工艺。

　　10.氧化室温度变化异常

　　①检查比例阀动作是不是正常。

　　②即使自控系统可稳定炉膛温度，但废气量蓦地变化过大，会使温升速度变快或慢，所以要尽可能保持进口废气量相对稳定。

　　③热电偶有无问题。

　　④操纵柜有无非常好接地，如无，则热电偶可能信号干扰造成温度显示异常。
 

　　有机废气治理
 

　　半导体工艺中的有机废气具有排气量大，浓度低和成分复杂的特点。 用其他有机废气处理技术很难达到令人满意的处理效率。 吸附催化燃烧法更合适。 目前，一些大型的半导体公司已经采用了沸石流道的催化燃烧技术。

　　催化燃烧 沸石流道设备安装在客户的工厂区域

　　大容量，低浓度的挥发性有机废气（VOC）由高效过滤器过滤，进入沸石分子筛，被吸附并

　　电子控制系统控制催化氧化炉开始加热，加热后的高温气体由热交换器冷却 然后在混合空气中调节至100-200℃，沸石流道缓慢旋转（3〜8r / h），吸附区的转子旋转至解吸区的高温解吸，解吸后的高浓度有机废气 被热交换器预热并进入催化氧化 在熔炉中，其被氧化并分解为二氧化碳和水，净化后的空气通过烟囱排出。  。[H]

　　完成解吸的沸石流道旋转到冷却区进行冷却，以完成吸附/解吸/冷却的循环。

　　该方法适用于大风量，低浓度和常温。 有机废气处理，有机废气处理效率达95％以上，运行成本低，设备风量大，占地面积小，无二次污染，可持续脱附和处理污染物