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日本JSD高精度空气离子计数器AJ-2101
¥1netsushin高精度温度测量仪NX-3100/1200
¥30000netsushin微管式铂电阻温度计 UNR-14系列
¥30000anritsu荧光光纤温度转换器FLC-1000系列
¥30000日本anritsu荧光光纤温度计FL-2400
¥30000日本anritsu荧光光纤温度计 FL-2000
¥30000fieldtech测量土壤湿度的水分密度计FT-102
¥50000日本netsushin温度测量仪NX-3100/1200
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¥20000日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
特征
排气→涂层(蚀刻)→全自动,直到进入大气
尽管是紧凑型,但仍可以进行膜厚控制(简单型)
全自动溅射设备,操作简便,重现性高
配备涂层/蚀刻模式
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等的应用
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
基本规格
阴极 | φ2英寸/ 2极面对电极 |
溅射靶 | 包含金靶 |
蚀刻目标 | 包括Al目标 |
膜厚设定方法 | 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏) |
排气操作 | 自动的 |
箱体尺寸 | 内径φ120mm x D120 mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身体:15公斤 RP:9公斤 |