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特征
使用磁控管阴极以减少离子损伤
排气→涂层→全自动，直到进入大气
磁控管阴极有助于生产高质量的溅射薄膜
电极的溅射薄膜可以很容易地涂覆
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等的应用
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
基本规格
| 阴极 | φ2英寸直流磁控管/ 2极面对电极 |
| 目标 | 包含金靶 |
| 膜厚设定方法 | 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 |
| 气体导入机制 | 针阀 |
| 真空泵 | 直连式旋转泵：20l / min（带自动泄漏） |
| 排气操作 | 自动的 |
| 箱体尺寸 | 内径φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 主体：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身体：15公斤 RP：9公斤 |
