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特征
支持W（钨）/ Ni（镍）/ Cr（铬）/ Ti（钛）等成膜的DC溅射设备。
使用磁控管阴极
内置微型计算机对成膜过程进行高精度控制
操作方式为全自动/手动两种模式
标配自动快门机构
应用/结果示例
W / Ni / Cr / Ti等的成膜
燃料电池基础实验
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ
基本规格
| 阴极 | φ2英寸磁控管阴极 |
| 快门机制 | 自动/手动操作 |
| 气体导入机制 | 针阀（自动/手动控制） |
| 真空泵 | 直连式旋转泵：100l / min（有自动泄漏） |
| 箱体尺寸 | 内径φ160mmx D160mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm |
| 重量 | 身体：20公斤 RP：23公斤 |
