日本tazaki半导体制造用橡胶

日本tazaki半导体制造用橡胶

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2024-03-22 09:00:56
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秋山科技（东莞）有限公司

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产品简介

日本tazaki半导体制造用橡胶
- 对溶剂、酸和碱具有出色的耐受性。
・ 比 perflo-elastomer 便宜。
-适用于半导体和液晶制造设备的湿部件。

详细介绍

日本tazaki半导体制造用橡胶

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- 对溶剂、酸和碱具有出色的耐受性。

・ 比 perflo-elastomer 便宜。

-适用于半导体和液晶制造设备的湿部件。


 
超级橡胶通用 FKM
丙酮△ V%20.1*  262.2
△W%7.5 7.5*  118.5
二氯甲烷△ V%9.229.4
△W%5.817.2
甲苯△ V%7.4 7.49.5
△W%2.84.3
乙酸丁酯△ V%16.8364.7
△W%7.1 7.1161.5
叔丁基
甲醚		△ V%25.1194.6
△W%9.176.8
2-Acetone-1-
Ekitoshi 丙烷		△ V%6.0 6.0291.7
△W%2.8148.5
甲醇△ V%2.6 2.6148.6
△W%1.0 1.063.2
冰醋酸△ V%18.0168.7
△W%9.694.8
氢氧化钠
（20%水溶液）		△ V%0.3± 0
△W%± 0-0.3


耐蒸汽橡胶

氟橡胶的交联方式主要有两种：多元醇交联（氟橡胶的主流）和过氧化物交联，但各有优缺点如下表所示。

 强项缺点
多元醇优于压缩变形用蒸汽水解
过氧化物优异的耐水性和耐蒸汽性耐热性和压缩变形较差

由 Asahi Tazaki 开发的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的压缩变形和耐高温蒸汽性。

成就示例

日本tazaki半导体制造用橡胶

 耐蒸汽 (T77SA1)通用 FKM
初始物理特性
抗拉强度 (MPa) 伸长率
(%)
硬度		10.5
230
A69 / S		13.1
270
A70 / S
在100°C 和 1 个大气压下
蒸汽		120H后
抗拉强度变化率 (%) 伸长率
变化率 (%)
硬度变化		± 0
+1.5
± 0		-20.5
+3.7
-4
240小时后
抗拉强度变化率 (%) 伸长率
变化率 (%)
硬度变化		-3.5
+3.5
-2		-31.0 +
15.5
-8
180℃
蒸汽		1000H后
抗拉强度变化率 (%) 伸长率
变化率 (%)
硬度变化

-15

+8
-4

-68
+60

-二十五

压缩畸变率(%) 175° x 22H四7



成就示例



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