Harrick Plasma等离子清洗机真空泵 具有悠久历史的专业光学光谱仪器的设计和制造。自1969开始，Harrick Plasma ，行业享有盛名。该公司的创始人N. J. Harrick博士，开创了内反射光谱和成为该技术的主要*。
Harrick Plasma 研发了三十多年前的*台台式研究等离子体器件。现在Harrick Plasma 仪器在许多研究实验室是广泛应用。

Harrick Plasma 等离子清洗机真空泵配置：

>1.4 1.4 m3/hr (0.83 ft3/min)  极限压力在200 mTorr (0.27 mbar)以下

真空泵型号：

经济型 PDC-VPE (115V); PDC-VPE-2 (230V)

稳定型 PDC-VP (115V ) ;   PDC-VP-2 (230V)

工艺气体为氧气，请选择真空泵型号

经济型 PDC-OPE (115V); PDC-OPE-2 (230V)

稳定型 PDC-OPD (115V); PDC-OPD-2(230V)

对于其他腐蚀性或者反应性气体，请咨询 German First-Nano System （HK）Limited