设计的滚轮贴膜

自动胶膜进给及贴膜

手动晶圆上下料

自动切割胶膜，省力

蓝膜、UV 胶膜可选

PLC+触摸屏

配置光帘保护功能，和紧急停机按钮

三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控

晶圆厚度

100～750微米

晶圆种类

硅, 砷化镓或其它

单平边,双平边,V型缺口

胶膜种类

蓝膜或者UV膜

贴膜方法

滚轮贴膜

晶圆台盘

接触式晶圆台盘

晶圆台盘

通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘;或陶瓷台盘

晶圆台盘加热

MAX可达 120℃ (对应接触式台盘，可 选)

晶圆放置精度

X-Y:  +/- 0.5 毫米； Θ  : +/- 0.5°

装卸方式

手动晶圆放置与取出；晶圆在位置检测

防静电控制

去离子风扇

切割系统

自动刀

控制单元

基于 PLC 控制，10.4”触摸屏

电源电压

单相交流电220V,10A

压缩空气

60  PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5  立方英尺

灯塔

三色灯塔和蜂鸣器，用于操作状态监测

安全

配置安全光帘和紧急停机开关

体积

950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) 

净重

300 公斤