所有通道都具备微电流计，能对电阻进行高速（40ms/8通道）的连续测试

SIR13/SIR13 mini可准确地捕捉瞬间发生的离子迁移现象（从发生到结束）

250V测试基板：8通道/1电源 128通道

500V测试基板：1通道/1电源 64通道

1000V测试基板：1通道/1电源 64通道

120V测试基板：每个通道都可以设定试验条件（加载电压、电流测定值）

SIR13/SIR13 mini可以对加载电压和测定电压任意进行设定，且切换时不会发生漏测现象。

SIR13 mini为小型型号，最多可以装配3块SMU测试基板。

高电压单元

1.5kV/3kV/6kV/10kV

测定板

最多8枚(16ch/板时，Max128ch)

电流测定范围

测定量程及分辨率

1) 30mA(1μA 分辨率)

2) 3.2mA(10nA 分辨率)

3) 320μA(1nA 分辨率)

4) 3.2μA(10pA 分辨率)

5) 32nA(100fA 分辨率)

6) 320pA(1fA 分辨率)