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生产厂家厂商性质
所在地
服务行业及治理方式：
污染物
| | 来源 | 引发问题 | 解决方案 |
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粉尘，酸性、碱性气体
| 空气 | 集成电路断路、短路 | 化学过滤器+高效过滤器/FFU |
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NH3
| 空气 | 光学镜片雾化 | 化学过滤器+FFU |
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NH3，NMP
| 外气 | “T-top“现象 | 化学过滤器 |
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丙酮、异丙醇等有机溶剂废气
| 清洗、刻蚀工序 | 环境污染 | 高效/超高效过滤器 |
