高等级质量流量控制器

3200系列高等级质量流量控制器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-08-06 08:13:54
2089
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北京北方华瑞测控技术有限公司

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产品简介

【3200系列高等级质量流量控制器设计特点】- 高精度控制- 全316L结构- 高性价比

详细介绍

【概述/特点】 
KOFLOC公司简介:
日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
 【技术规格】  


3200系列高等级质量流量控制器
适用于半导体、LCD、燃烧、分析、生物工艺等方面实现高精度的快速控制
流量范围:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制阀:常闭,电磁隔膜阀
控制范围:2~*FS
反应时间:0~*,小于等于1秒
精度:±1%以内
线性:±0.5%以内
重复性:±0.2%以内
使用压差:范围≤5SLM时,49~294KPA, 5SLM <范围≤20SLM时,98~294KPA
压力限制:980KPA
泄露率:1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小
操作温度:0~50°C
接触介质的材质:本体: SUS316L
隔膜: SUS316
阀座: PTFE
密封材料: Byton TM (可选: 氯丁橡胶)
连接:1/4SWL,可选1/8SWL,1/4VCR和1/4RC
电气连接:9针插座
控制信号:0-5VDC
]输出信号:0-5VDC
电源:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 200 mA

 

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