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【概述/特点】
3200系列高等级质量流量控制器
适用于半导体、LCD、燃烧、分析、生物工艺等方面实现高精度的快速控制
流量范围:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制阀:常闭,电磁隔膜阀
控制范围:2~*FS
反应时间:0~*,小于等于1秒
精度:±1%以内
线性:±0.5%以内
重复性:±0.2%以内
使用压差:范围≤5SLM时,49~294KPA, 5SLM <范围≤20SLM时,98~294KPA
压力限制:980KPA
泄露率:1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小
操作温度:0~50°C
接触介质的材质:本体: SUS316L
隔膜: SUS316
阀座: PTFE
密封材料: Byton TM (可选: 氯丁橡胶)
连接:1/4SWL,可选1/8SWL,1/4VCR和1/4RC
电气连接:9针插座
控制信号:0-5VDC
]输出信号:0-5VDC
电源:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 200 mA