【概述/特点】 
KOFLOC公司简介:
日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
 【技术规格】  

5100系列金属密封型质量流量计控制器

多种范围量程，实现高精度的快速控制
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
反应时间：满量程2%范围内≤1.5秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1×10–11 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质： SUS316L，Au,PTFE
连接：， 1/4VCR,可选1/4SWL
控制信号：0-5VDC
输出信号：0-5VDC
电源：+15 VDC （±15%） 100 mA ， –15 VDC （±15%） 200 mA
安装方向：任何方位