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面议项目 | 特征 |
频率调整范围 | 13.56MHz±5% |
频率稳定度 | ±50ppm |
输出功率调节范围 | 2W-3000W连续可调，步进0.1W |
射频开关幅度过冲持续时间 | 0.1mS |
射频开关幅度过冲 | ±1% |
脉冲信号重频 | 10Hz-100kHz，步进1Hz；脉宽5μS-90mS |
脉冲信号占空比 | 5%-95%，步进1%可调；边沿＜ 2μS |
整机效率（额定功率下） | 60% |
谐波抑制 | ≤-50dBc |
杂散抑制 | ≤-50dBc |
幅度稳定度 | ≤±0.1% |
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半导体工业方面如等离子体刻胶、等离子蚀刻 、 RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源等
