争光(GLORY)系列射频电源-1.5kW

争光(GLORY)系列射频电源-1.5kW

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-06-07 10:32:16
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成都沃特塞恩电子技术有限公司

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产品简介

争光(GLORY)系列射频电源-1.5kW

详细介绍

技术参数

项目

通用指标

频率

2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz

频率误差

0.005%

额定输出功率

1500W

输出功率接范围  

10-1500W

功率步进

1W

功率重复性(同一电源)

±1%

整机效率(额定功率下)

60%

散热方式

风冷散热

通信接口

Analog/Ether CAT/RS232/RS485/Ether NET/local

功率模式  

Forward power;load power


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工作模式

连续波

应用范围

PECVD薄膜沉积

ICP/CCP干法刻蚀

等离子清洗

材料改性


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