争气(Endeavour)系列射频电源

争气(Endeavour)系列射频电源

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2023-06-07 10:35:02
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成都沃特塞恩电子技术有限公司

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产品简介

争气(Endeavour)系列射频电源

详细介绍

技术参数

项目

通用指标

频率

2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz

频率误差

0.005%

额定输出功率

5w-1.5kW/3kW;30W-6kW;50W-10kW

功率模式  

Forward power;load power

功率步进

1W(最小0.1W-低功率高精度模式,5W开始)

功率重复性(同一电源)

±0.5%

整机效率(额定功率下)

63%

散热方式

水冷+风冷

通信接口

Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local


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工作模式

连续波

脉冲波

应用范围

ICP/CCP干法刻蚀

PECVD


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