高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500

高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500

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2022-07-22 14:09:01
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北京泰科诺科技有限公司

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产品简介

高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500设备可溅射/蒸发两用;占地面积小,价格便宜,性能稳定,使用维护成本低;

详细介绍

高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500产品概述

1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

2、产品特点/用途:

► 设备可溅射/蒸发两用;占地面积小,价格便宜,性能稳定,使用维护成本低;

► 可用于制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、磁性膜、传感器膜及耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀膜等;

► 镀膜示例:银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等;

► 单靶溅射、多靶依次溅射、共同溅射等功能。

 

高真空磁控溅射镀膜机 JCPY500、技术参数

型号JCPY500
真空腔室结构立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷
真空腔室尺寸Φ500×H450mm,带Load-Lock功能,支持单片或多片进取样
加热温度室温~500℃
溅射方式向上溅射
旋转基片台Φ150mm
膜厚不均匀性Φ100mm范围内≤±5.0%
溅射靶/蒸发电极Φ3、Φ4英寸磁控靶2-4支可选
工艺气体3路气体流量控制
控制方式PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统
占地面积(主机)L1800×W800×H1845mm
总功率≥15KW

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、设计、制造,是一家集真空薄膜新材料沉积设备、真空技术应用设备等相关设备及其工艺的研发、设计、制造、销售、服务于一体的*。

 

公司的研发中试孵化基地位于毗邻雄安新区的任丘经济技术开发区,距离未来的雄安高铁站约20公里,占地面积20000㎡,不仅建有包括机加工、电气、结构组装,调试等多个中试生产车间和办公楼以及其它辅助厂房;同时建有研发工艺、服务客户的开放实验室。公司还聘请了国内外真空行业zi深的专家、教授作为本公司的技术顾问,确保真空设备产品高水平,始终保持较强的自主研发能力、*的设计概念、领xian的技术优势。

 

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