高真空磁控溅射镀膜机 JCP200

高真空磁控溅射镀膜机 JCP200

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2022-07-22 14:09:01
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产品简介

高真空磁控溅射镀膜机 JCP200真空腔室结构立式上开盖结构,下置抽气系统,手动气弹簧提开式

详细介绍

 高真空磁控溅射镀膜机 JCP200设备概述

1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

2、产品特点/用途:

► 设备可溅射/蒸发两用;占地面积小,价格便宜,性能稳定,使用维护成本低;

► 可用于制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、磁性膜、传感器膜及耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀膜等;

► 镀膜示例:银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等;

► 单靶溅射、多靶依次溅射、共同溅射等功能。

 

高真空磁控溅射镀膜机 JCP200技术参数

型号JCP200
真空腔室结构立式上开盖结构,下置抽气系统,手动气弹簧提开式
真空腔室尺寸Φ220×H300mm
加热温度室温~500℃
溅射方式向上溅射
旋转基片台Φ100mm
膜厚不均匀性Φ50mm范围内≤±5.0%
溅射靶/蒸发电极Φ2英寸磁控靶1支,兼容DC/RF溅射
工艺气体1-2路气体流量控制
控制方式PLC触摸屏控制
占地面积(主机)L600×W800×H1700mm
总功率≥6KW

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、设计、制造,是一家集真空薄膜新材料沉积设备、真空技术应用设备等相关设备及其工艺的研发、设计、制造、销售、服务于一体的*。

 

公司的研发中试孵化基地位于毗邻雄安新区的任丘经济技术开发区,距离未来的雄安高铁站约20公里,占地面积20000㎡,不仅建有包括机加工、电气、结构组装,调试等多个中试生产车间和办公楼以及其它辅助厂房;同时建有研发工艺、服务客户的开放实验室。公司还聘请了国内外真空行业zi深的专家、教授作为本公司的技术顾问,确保真空设备产品高水平,始终保持较强的自主研发能力、*的设计概念、领xian的技术优势。

 

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