02专项产品简介-中船重工集团第七一八研究所手机版

详细介绍

“02专项”产品简介

中船重工第七一八研究所 (简称PERIC)与南大光电、光明院等5家协作单位申请的“02”国家科技重大专项--高纯电子气体研发与产业化项目，已于2013年初获得国家立项并得到国家财政支持。“02专项”全称为极大规模集成电路制造装备及成套工艺，是由专项实施管理办公室组织，属于重点项目。该项目旨在开发集成电路关键制造装备，掌握具有自主知识产权的成套*工艺及相关新材料技术，打破我国集成电路制造装备与工艺*依赖进口的状况，带动相关产业的技术提升和结构调整。此项目中，718所共承担NF₃、WF₆、SiF₄、C₂F₆、C₄F₈、C3F₈、HF、HCl、COF₂及电子混合气体等19种气体的研制及产业化工作。
NF₃及WF₆产品目前我所已有成熟的技术及生产经验，并有多年的产业化经验，满足客户的需求。
COF₂产品已完成了研制及小试生产，纯度达到99%以上。
SiF₄、C₂F₆等产品的研制工作已基本结束，预计于2015年将实现产业化生产，各产品的产业化情况如下：

气体名称	纯度	产业化规模
SiF₄	99.999%	50吨/年
C₂F₆	99.9993%	50吨/年
C₄F₈	99.9993%	50吨/年
C3F₈	99.9995%	30吨/年
HF	99.999%	10吨/年
HCl	99.999%	50吨/年

气体应用：
上述气体主要用于IC制造过程中的外延、离子注入、扩散、蚀刻、沉积、清洗等关键工艺。
目前，718所已与无锡华润上华科技有限公司或上海华虹宏力半导体制造有限公司或中芯国际集成电路制造有限公司等签订了测试协议，上述单位将负责该项目中所有气体的测试等工作。
：销售部，0310-7184723