主要通过低温吸收，变温及变压吸附等工艺，将氢气及氯硅烷从工艺废气中分离出来以达到循环利用的目的。
技术优势：
u 氢气回收率高，氢气回收率≥80%；
u 通过STC吸收原料气中的氯硅烷，达到回收氯硅烷，原料重复利用；
u 通过干燥吸附-再生-二次吸附，限度的回收氢气，减少氢气排放，同时提高氢气的纯度；
u 利用变压吸附的废气对变温吸附设备进行反吹，节约公用工程用气；
u 采用全新的脱氧技术，节能环保；
采用变温吸附和变压吸附串联操作，能够快速有效地达到氢气提纯的目的；此方法废气处理量大。
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主要通过低温吸收，变温及变压吸附等工艺，将氢气及氯硅烷从工艺废气中分离出来以达到循环利用的目的。
技术优势：
u 氢气回收率高，氢气回收率≥80%；
u 通过STC吸收原料气中的氯硅烷，达到回收氯硅烷，原料重复利用；
u 通过干燥吸附-再生-二次吸附，限度的回收氢气，减少氢气排放，同时提高氢气的纯度；
u 利用变压吸附的废气对变温吸附设备进行反吹，节约公用工程用气；
u 采用全新的脱氧技术，节能环保；
采用变温吸附和变压吸附串联操作，能够快速有效地达到氢气提纯的目的；此方法废气处理量大。