高温氧化/激活炉

快速退火炉

超声扫描显微镜

Camtek

微纳加工中心

ALD

单面/双面光刻系统

晶圆键合系统

测试与辅助工艺设备

原子力显微镜

三维光学轮廓仪

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Trymax

高温氧化

卧式炉

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PVD

纳米压印光刻系统