薄膜厚度测量范围 （Thickness Range）: 1 nm - 1.8 mm

波长范围 （Wavelength Range）: 200 nm - 1700 nm

精度 （Precision）: <0.01 nm or 0.01%

稳定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%

光斑大小 （Spot Size）: Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm）

功能： 测量薄膜厚度、光学常数，反射率和透过率

单层膜或多层膜叠加层； 适用于几乎所有透明，半透明，低吸收系数的薄膜测量，包括液态膜或空气层。

测试条件： 平面或曲面

可配XY平台实现全样品膜厚 mapping

FT-100 薄膜厚度测量仪

薄膜厚度测量范围 （Thickness Range）: 1 nm - 1.8 mm

波长范围 （Wavelength Range）: 200 nm - 1700 nm

精度 （Precision）: <0.01 nm or 0.01%

稳定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%

光斑大小 （Spot Size）: Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm）

功能： 测量薄膜厚度、光学常数，反射率和透过率

单层膜或多层膜叠加层； 适用于几乎所有透明，半透明，低吸收系数的薄膜测量，包括液态膜或空气层。

测试条件： 平面或曲面

可配XY平台实现全样品膜厚 mapping

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可集成于以上测试平台 （ 三维轮廓仪，微纳米压痕/划痕仪，摩擦磨损仪等）