特征：
   尺寸小型化
   轻量化
   低成本方案
   电学、光学领域应用
   发光二极管、激光二极管、PD的光强度和波长测量
   射频探测
   适用于大学、实验室
   4英寸以下晶圆的理想选择
   侧面调节吸盘
   无回差调节
规格：
   真空吸盘材质：4英寸不锈钢 （平整度 ± 10µm）
   吸盘调节行程：3英寸X 3英寸（精度10 µm）
   吸盘调节角度：0~30度
   吸盘：三条真空线槽对应不同尺寸样品
   样品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
   台板：可容纳最多6个探针座
需求：
   电力需求：220V 50Hz交流电
   真空泵：真空压强-250毫米汞柱（约-33.3KPa）
尺寸：
   320mm宽X  320mm长X  400mm高（包括显微镜）
   净重 20Kg，包括显微镜
 
附件
   吸盘推向位置（chuck stage push to position）
   真空控制的吸盘调节系统
   显微镜倾斜机构以及准确位置快速转换机构
   光强度/波长测量适配器
   射频探针/电缆
   有源探针
   低电流/低电容探针
   高压探针
   超声波切割机（cutter）
   视频监控
   显微摄影
   封装器件夹具
   PCB夹具
   液晶套件
   防振桌面
   屏蔽箱
   测试工作台
   带脚轮的设备箱
   吸盘真空图样（Pattern）
   镀金吸盘