Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布,评价薄膜厚度的均一性,可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布,评价薄膜厚度的均一性,可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。
厚度测绘台包含:
1. XY电动载物台,行程:150mm/200mm/300mm
2. 19英寸铝制底座
3. 探头适配器
4. 载物台控制器
5. 厚度拼图软件
薄膜厚度分布图(厚度以颜色标示):厚度测绘软件: