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聚焦离子束 (FIB) 仪器 双束DualBeam (FIB/SEM) 扫描探针显微镜/原子力显微镜SPM/A 透射电子显微镜（TEM） 扫描电子显微镜（SEM） 电子探针（EPMA）

X射线分析仪器

波长色散型X射线荧光光谱仪（XRF） X射线衍射仪（XRD） X射线光电子能谱仪（XPS） 能量色散型X射线荧光光谱仪（EDX）