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阴极为星形、表面曲率半径很小的线性电极，接高压电源负极，可产生超过1MHz（1MHz=1000000Hz）的高压放电频率（普通静电式净化器放电频率为50Hz），让设置内部不间歇的充满高离场；阳极是板式电极，接电源正极。
两极间加有直流高压。在外界能量（如空气中隋性气体在自然蜕变时放出的射线，此外线及其它宇宙线等）的作用下，可使气体电离放出电子而成为正、负离子。气体通入曲率半径相差很大的电场，且电场强度足够高，在电极表面附近，气体离子化将出现雪崩效应，（复合过程特别激烈）。
随着两电极表面之间距离增大，电场强度迅速下降，离子移动速度减慢，气体空间基点不至于被击空而引起整个空间击穿，在电离区内，不均匀电场引起电晕放电。
废气粒子在电离区内经吸附和氧化分解完成气体净化。
