射频真空等离子清洗机

射频真空等离子清洗机

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2022-01-04 10:58:45
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宁波北角仪器科技集团有限公司

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产品简介

射频真空等离子清洗机产品介绍： 1、独立数显射频电源 2、强力去除光刻胶有机污染物 3、腔体内部接近常温 4、科研改性 5、媒粉灰化处理 技术参数： 型号 PT-2ST P

详细介绍

射频真空等离子清洗机产品介绍：
 
1、独立数显射频电源
2、强力去除光刻胶有机污染物
3、腔体内部接近常温
4、科研改性
5、媒粉灰化处理
 
 
 
技术参数：
型号PT-2STPT-5STPT-10STPT-15ST
腔体材质316不锈部表面处理 
腔体尺寸Φ100x270LΦ150x270Lmm220x260x200mm
L*W*H		320x260x200mm
腔体容量2L5L10L15L
外形尺寸560x540x550mm
L*W*H		560x540x550mm
L*W*H		650x550x580mm
L*W*H		650x550x650mm
L*W*H
电源频率13.56MHZ 
电源功率0-200W(手动匹配)0-300W(自动匹配)0-500W(自动匹配)
流量计高精密2路浮子流量计 
真空计压力表(量化值显示) 
控制过程全自动控制与手动(PLC人机界面) 
清洗时间0-99999S可调 
真空度1-30pa 
腔体温度<30℃ 
供电电压220V
 		 
真空泵2XZ-2(抽速2L/S)2XZ-4(抽速4L/S)
 
 
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