Brooks的CTI-Cryogenics产品是低温高真空技术的。我们提供各种各样的具有*性能、高可靠性和高产能的低温泵和低温泵系统设计。用于高级光谱技术研究的单台低溫泵用于半导体制造、数据存储、平板显示和光学设备的低温泵系统,CTI-Cryogenics创立了的低温高真空技术。
CTI 低温泵(冷凝泵)产品优势:
• 真空度高,无油,符合高要求的真空系统的需要。
• 泵内没有机械运动部件,没有易损件,安装灵活,无需特别维护。
• 吸水汽的能力强,抽速大;具有远端监控功能。
• On-Board 型冷凝泵具有全自动快速再生功能。
• 系统不再受接头、进气管、阀和挡板等的冷传导的影响。
• 低温盘管的安装不需要高真空阀,可在任何系统中方便地进行。
On-Board® 低温泵
具有集成控制和外设部件的低温泵系统。可以快速的实现与设备系统的控制的整合和系统集中操控。
• 稳定的工艺性能。
• 性能经过强化,提供设备更多的工艺时间。
• 缩短再生时间,是 Cryo-Torr® 系列低温泵的三分之一到一半。
• 快速再生功能提升*再生之间的性能表现。
• 成组的低温泵具有群组再生功能,可以大大缩短整个系统的再生时间耗用,增加设备的有效使用时间。
• 性的服务支援体系。
On-Board® 低温泵集成了微电脑控制,可以显著提高泵体的性能,并提供系统自我诊断和设备通讯的功能。On-Board® 低温泵可以适合复杂的软体程式控制。现在的追求性能和可靠性的低温泵主流应用正是采用On-Board® 做为标准的解决方案。
On-Board® 低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段,并保证了设备的高产和工艺的稳定性。On-Board® 低温泵有全系列的品种,满足各类工艺和应用条件的选用。
On-Board® 低温泵技术参数:
On-Board 型号 | 4F | 8 | 8F | 250F | 10 | 10F | 400 | 500 | ||
结构 | 卧式 | 立式 | 卧式 | 卧式 | 立式 | 卧式 | 立式 | 立式 | ||
法兰内径 | 100 mm | 200mm | 200mm | 250mm | 290mm | 300mm | 400mm | 500mm | ||
抽速 | 水 | L/S | 1100 | 4000 | 4000 | 6500 | 9000 | 9500 | 16000 | 30000 |
空气 | L/S | 370 | 1500 | 1500 | 2200 | 3000 | 3600 | 6000 | 10000 | |
氢 | L/S | 370 | 2500 | 2200 | 3200 | 5000 | 6000 | 12000 | 12000 | |
氩 | L/S | 310 | 1200 | 1200 | 1800 | 2500 | 3000 | 5000 | 8400 | |
气体容量 | 氢 | 标升 | 3 | 17 | 12 | 16 | 24 | 24 | 42 | 45 |
氩 | 标升 | 210 | 1000 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 2500 | 6000 | |
通导 | 氢 | Sccm | 700 | 700 | 700 | 700 | 1500 | 1500 | 500 | 1000 |
氩 | L/S Torr | 9 | 9 | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | 13 | |
启动流量 | Torr L | 100 | 150 | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | 600 | |
*再生(常规) | < 1.4h | < 2.7h | < 2.7h | < 3.3h | < 2.2h | <2.2h | < 3.8h | 225min | ||
快速再生(常规) | < 0.7h | < 1.0h | < 1.0h | < 1.5h | < 1.0h | < 1.0h | < 1.6h | |||
重量 | 千克 Kg | 21 | 25 | 24 | 26 | 43 | 45 | 77 | 118 |
Cryo-Torr® 低温泵
• CTI-Cryogenics 基础级的低温泵。
• 多年历史证明的出色性能和可靠品质。
• 灵活加装使用者的控制装置和外设部件。
• 性的服务支援体系。
Cryo-Torr® 低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段。
Cryo-Torr® 低温泵以高可靠性、维护快速、低使用成本和高时效的服务支援而著称。
Cryo-Torr® 低温泵技术参数:
Cryo-Torr 型号 | 4F | 8 | 8F | 250F | 10 | 10F | 400 | ||
结构 | 卧式 | 立式 | 卧式 | 卧式 | 立式 | 卧式 | 立式 | ||
法兰内径 | 100 mm | 200mm | 200mm | 250mm | 290mm | 300mm | 400mm | ||
抽速 | 水 | L/S | 1100 | 4000 | 4000 | 6500 | 9000 | 9500 | 16000 |
空气 | L/S | 370 | 1500 | 1500 | 2200 | 3000 | 3600 | 6000 | |
氢 | L/S | 370 | 2500 | 2200 | 3200 | 5000 | 6000 | 12000 | |
氩 | L/S | 310 | 1200 | 1200 | 1800 | 2500 | 3000 | 5000 | |
气体容量 | 氢 | 标升 | 3 | 17 | 8 | 16 | 24 | 24 | 15 |
氩 | 标升 | 210 | 1000 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 2500 | |
通导 | 氢 | Sccm | 700 | 700 | 700 | 700 | 1500 | 1500 | 500 |
氩 | L/S Torr | 9 | 9 | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | |
启动流量 | Torr L | 100 | 150 | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | |
降温时间 | 60HZ | 75min | 90min | 100min | 100min | 100min | 100min | 150min | |
50HZ | 90min | 110min | 110min | 120min | 120min | 120min | 180min | ||
重量 | 千克 Kg | 17 | 20 | 19 | 22 | 39 | 41 | 73 |
制冷机系列
Cryodyne制冷机系统是一系列双级、闭式循环氦气氦气制冷机系统,其原理基于吉福特-麦克马洪热力循环,适用于10K~80K的商业应用和研究。
Cryodyne 制冷机系列 | ||||
单级制冷机 | ||||
型号 | 性能 | 重量(kg) | 冷却时间 | 配置压缩机型号 |
M-22 | 10 watts@77K | 6 | 24 min至80K | 8200 |
M-350 | 40 watts@77K | 15 | 20 min至80K | 8200 |
M-1050 | 80 watts@77K | 15 | 16 min至80K | 9600 |
双级制冷机 | ||||
型号 | 性能 | 重量(kg) | 冷却时间 | 配置压缩机型号 |
M-22 | 1 watts@20K 8 watts@77K | 6.5 | 30 min至20K | 8200 |
M-350 | 4 watts@20K 20 watts@77K | 15 | 50 min至20K | 8200 |
M-1020 | 12 watts@20K 35 watts@77K | 15 | 50 min至20K | 9600 |
M-1050 | 7 watts@20K 65 watts@77K | 15 | 50 min至20K | 9600 |
Compressors 氦气制冷压缩机