BROOKS 低温泵 吸盘

BROOKS 低温泵 吸盘

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2023-05-31 09:04:05
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延友仪器(上海)有限公司

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产品简介

Brooks的CTI-Cryogenics产品是低温高真空技术的

详细介绍


Brooks的CTI-Cryogenics产品是低温高真空技术的。我们提供各种各样的具有*性能、高可靠性和高产能的低温泵和低温泵系统设计。用于高级光谱技术研究的单台低溫泵用于半导体制造、数据存储、平板显示和光学设备的低温泵系统,CTI-Cryogenics创立了的低温高真空技术。

CTI 低温泵(冷凝泵)产品优势:

• 真空度高,无油,符合高要求的真空系统的需要。

• 泵内没有机械运动部件,没有易损件,安装灵活,无需特别维护。

• 吸水汽的能力强,抽速大;具有远端监控功能。

• On-Board 型冷凝泵具有全自动快速再生功能。

• 系统不再受接头、进气管、阀和挡板等的冷传导的影响。

• 低温盘管的安装不需要高真空阀,可在任何系统中方便地进行。

On-Board® 低温泵

具有集成控制和外设部件的低温泵系统。可以快速的实现与设备系统的控制的整合和系统集中操控。

• 稳定的工艺性能。

• 性能经过强化,提供设备更多的工艺时间。

• 缩短再生时间,是 Cryo-Torr® 系列低温泵的三分之一到一半。

• 快速再生功能提升*再生之间的性能表现。

• 成组的低温泵具有群组再生功能,可以大大缩短整个系统的再生时间耗用,增加设备的有效使用时间。

• 性的服务支援体系。

On-Board® 低温泵集成了微电脑控制,可以显著提高泵体的性能,并提供系统自我诊断和设备通讯的功能。On-Board® 低温泵可以适合复杂的软体程式控制。现在的追求性能和可靠性的低温泵主流应用正是采用On-Board® 做为标准的解决方案。

On-Board® 低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段,并保证了设备的高产和工艺的稳定性。On-Board® 低温泵有全系列的品种,满足各类工艺和应用条件的选用。

On-Board® 低温泵技术参数:

On-Board 型号4F88F250F1010F400500
结构卧式立式卧式卧式立式卧式立式立式
法兰内径100 mm200mm200mm250mm290mm300mm400mm500mm
抽速L/S1100400040006500900095001600030000
空气L/S37015001500220030003600600010000
L/S370250022003200500060001200012000
L/S3101200120018002500300050008400
气体容量标升317121624244245
标升2101000100010002000200025006000
通导Sccm700700700700150015005001000
L/S Torr99991919613
启动流量Torr L100150150150300300300600
*再生(常规)< 1.4h< 2.7h< 2.7h< 3.3h< 2.2h<2.2h< 3.8h225min
快速再生(常规)< 0.7h< 1.0h< 1.0h< 1.5h< 1.0h< 1.0h< 1.6h
重量千克 Kg21252426434577118

Cryo-Torr® 低温泵

• CTI-Cryogenics 基础级的低温泵。

• 多年历史证明的出色性能和可靠品质。

• 灵活加装使用者的控制装置和外设部件。

• 性的服务支援体系。

Cryo-Torr® 低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段。

Cryo-Torr® 低温泵以高可靠性、维护快速、低使用成本和高时效的服务支援而著称。

Cryo-Torr® 低温泵技术参数:

Cryo-Torr 型号4F88F250F1010F400
结构卧式立式卧式卧式立式卧式立式
法兰内径100 mm200mm200mm250mm290mm300mm400mm
抽速L/S11004000400065009000950016000
空气L/S370150015002200300036006000
L/S3702500220032005000600012000
L/S310120012001800250030005000
气体容量标升317816242415
标升210100010001000200020002500
通导Sccm70070070070015001500500
L/S Torr999919196
启动流量Torr L100150150150300300300
降温时间60HZ75min90min100min100min100min100min150min
50HZ90min110min110min120min120min120min180min
重量千克 Kg17201922394173

制冷机系列

Cryodyne制冷机系统是一系列双级、闭式循环氦气氦气制冷机系统,其原理基于吉福特-麦克马洪热力循环,适用于10K~80K的商业应用和研究。

Cryodyne 制冷机系列  
单级制冷机   
型号性能重量(kg)冷却时间配置压缩机型号
M-2210 watts@77K624 min80K8200
M-35040 watts@77K1520 min80K8200
M-105080 watts@77K1516 min80K9600
     
     
双级制冷机   
型号性能重量(kg)冷却时间配置压缩机型号
M-221 watts@20K
8 watts@77K
6.530 min20K8200
M-3504 watts@20K
20 watts@77K
1550 min20K8200
M-102012 watts@20K
35 watts@77K
1550 min20K9600
M-10507 watts@20K
65 watts@77K
1550 min20K9600

Compressors 氦气制冷压缩机

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