亚微米3D 观察/ 测量

观察纳米范围的台阶，并可测量亚微米级别的高度差。

合规表面粗糙度测量

可测量从线到面的表面粗糙度。

非接触，无损，并且快捷

无需制备样品 - 只需将样品放在载物台上即可测量。

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和好的分辨率图像。

[ 获取彩色信息]

彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。

[ 获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]

激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

405纳米激光光源

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜

具有好的横向分辨率。OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得好横向分辨率。

激光共焦光学系统

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得

比普通显微镜对比度高的图像。

X-Y扫描仪

OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结

合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。

输出可靠数据的技术

采用以前的物镜，像差让其不容易准确测量周边区域。 用LEXT 物镜能够准确测量周边区域。

捕捉陡峭斜面形状

4K扫描技术

具有大角度斜面的样品（剃刀刀片）

以前的型号 ：无法准确测量陡峭斜面。 OLS5000 显微镜 ：可准确测量接近87.5° 的大角度斜面。

自动获取数据

智能判别功能

测量噪声被错误地作为修复图 显示测量噪声，一定程度地降低检

测结果模棱两可的风险。

以前的型号 ：消除噪音的同时也消除了原始数据。 OLS5000 显微镜 ：自动检测数据和噪音，从而实现准确的形状测量。

快速获得可靠数据

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，从而实现生产力的提升。

使用简便 - 只需放好样品按下按钮即可

LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。 生疏的用户也可以获得可靠的检测结

果。

便捷分析

测量区域。

分析和报告已经完成。

减少重复测量的差异

创建报告

当这些步骤被设定为默认模板时，

下次将自动执行生成报告的所有步

骤。

低功率输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳接近210毫米的样品，而

长工作距离物镜能够测量深度接近25毫米的坑。在测量这两类样品时，您只需将样品放在载物台上即可。

可测量高210毫米的样品：适应各类样品

提供可靠数据

检测细微纹理和缺陷

好的横向分辨率

405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。

奥林巴斯扫描技术

MEMS扫描振镜

奥林巴斯 MEMS 扫描振镜能够实现较低扫描轨迹失真和小光学像差的X-Y 扫描。有些激光显微镜无法避免视场周边区域测量值的波动，但是 OLS5000

显微镜不论是测量视场中心还是边缘，均可获得一致的结果。

检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌

4K 扫描技术

4K 扫描技术可在 X 轴方向扫描 4096 像素，是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了两倍。OLS5000 显微

镜无需图像处理就能检测接近垂直的陡峭斜面和低的台阶。

PEAK 算法

OLS5000 显微镜采用了用于 3D 数据构建的 PEAK 算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采

集时间。

自动选择数据采集的适合通道

双共焦系统

双共焦系统由采用不同孔径的两个共焦光学通道组成。根据镜头类型和数据采集模式选择适合通道，实现可靠数据的快速采

集。

积极的可追溯性

为确保高质量的产品性能，OLS5000显微镜从物镜到激光头的每个组件均采用严谨的生产系统制造而成。测量结果于工业标准相关的可追溯系统。

在显微镜交付时，工程师将进行系统的调整和校准，根据您的应用将显微镜调整到好的状态。

对您的测量结果有信心

好的准确度和重复性

测量工具的性能通常用准确度表示测量值与其真实值的接近程度，用重复性表示重复测量值的变化程度。奥林巴斯以基于可追溯系统的显微镜准

确度和可重复性，从而让您对测量结果有信心。