徕卡白光共聚焦干涉显微镜-Leica DCM8-链能金相实验设备南京有限公司手机版

详细介绍

徕卡白光共聚焦干涉显微镜-Leica DCM8性能

• 采用了全新的非接触式三维光学表面测量技术 • 提供明视场模式和暗视场模式，具有优质的准确度和可重复性 • 功能多样，准确性高，满足您*的表面测量要求 • 通过高清（HD）共聚焦显微技术实现优质横向分辨率、斜率求解和成像 • 通过高清干涉测量技术实现高达0.1nm的优质纵向分辨率 • 通过明场和暗场显微镜方便的实现图像摄取 • 四盏RGB高清彩色成像LED，应用范围更广 • 可使用三种方法测量厚薄不同的薄膜 • 配置和物镜适用于观测的样品 • 快速、简单、耐用，省时省力，节约资金，实现优质结果 • 无需准备样品和切换仪器 • 数字高清共聚焦扫描快速、可靠 • 通过大视场和形貌拼接快速摄取大表面 • 直观的2D和3D软件，适用于数据采集和分析

徕卡白光共聚焦干涉显微镜-Leica DCM8技术参数

系统	Leica DCM8技术参数
测量原理	非接触式3D双核光学成像轮廓测定法（共聚焦和干涉测量）
功能	高清成像、高清3D形貌、轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理、光谱分析、色谱分析等
对比度模式	高清共聚焦、高清干涉测量（PSI、ePSI、VSI）、高清明场彩色、明场、暗场、实时高清RGB共聚焦
样品高度	标准型：40mm；包括可调立柱：高150mm；根据要求可提供更高的样品高度
物镜	共聚焦、明场和暗场模式下，放大倍率1.25X至150X；干涉测量模式下，放大倍率5X至50X
物镜转盘	6位手动式物镜转盘/6位电动式物镜转盘
载物台扫描范围（X、Y、Z）	垂直：Z=40mm；水平：XY=100x75mm（标准），或=300x300mm，根据要求，可提供更大的载物台
垂直扫描范围	共聚焦40mm，PSI20μm、ePSI100μm、VSI10mm
照明	LED光源：红色（630nm），绿色（530nm），蓝色（460nm）和白色
图像采集	CCD黑白传感器：1360x1024像素（全分辨率）；黑白35FPS
样品反射率	0.1%-99%
尺寸和重量	长x宽x高=573x390x569mm；重量：48kg
工作条件	温度：10℃至35℃；相对湿度（HR）＜80%；海拔高度＜2000m
隔振	有源或无源
再现性（50X放大倍率）	共聚焦/VSI：误差=0.003μm（3nm）；PSI：误差=0.16nm（0.00016μm）
准确度（20X放大倍率）	开环：相对误差＜3%；闭环：误差＜20%
共聚焦模式
物镜放大倍率	1.25X	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X	150X
数值孔径	0.04	0.07	0.15	0.3	0.5	0.9	0.95	0.95
视场（μm）	14032x10560	7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132	117x88
光学分辨率（X/Y）（μm）	35	20	0.94	0.47	0.28	0.16	0.14	0.14
纵向分辨率（nm）	＜3000	＜350	＜150	＜30	＜15	＜5	＜2	＜2
典型测量时间	3-5s
干涉测量模式
物镜放大倍率	-	-	5X	10X	20X	50X	-	-
数值孔径	-	-	0.15	0.3	0.5	0.5	-	-
视场（μm）	-	-	3508x2640	1754x1320	677x660	351x264	-	-
光学分辨率蓝光（X/Y）（μm）	-	-	0.94	0.47	0.35	0.28	-	-
光学分辨率白光（X/Y）（μm）	-	-	1.12	0.56	0.42	0.33	-	-
纵向分辨率（nm）	-	-	PSI＜0.1；ePSI＜1.0；VSI＜3.0				-	-
垂直扫描速度（μm/s）	-	-	VSI/ePSI：2.4-17μm/s				-	-
典型测量时间	-	-	PSI：3-6s；VSI：10s；ePSI：30s				-	-

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