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Verifire™ XPZ
ZYGO Verifire™ XPZ型号激光干涉仪可以为光学元器件的平面、球面面形和透射波阵面提供快速、高精度干涉测量,配合功能强大的MetroPro®软件可以获得高重复性和高精度的测量结果。
Verifire™XPZ运用精QUE相位调制技术对样件的细微面形进行精密测量,具有很高的精que度和重复性。测量时对干涉腔长进行**调制,同时640 x 480 像素CCD进行数据采集获取多个条纹图像,由MetroPro®软件分析计算。
可以测量玻璃或者塑料光学元件,如:平面、透镜、棱镜;还有精密合金件、电脑磁盘、轴承和封接面;抛光件、陶瓷、等。在过去的三十多年,我们的干涉仪是世界各地计量设备的优选。